貝肯智能科技（蘇州）有限公司
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鍍膜機(jī)
產(chǎn)品名稱： 伊圓 HVCP-2050
發(fā)布日期： 2018-10-22
點(diǎn)擊數(shù)： 2661
二維碼：
簡(jiǎn)述： HVCP-2050DA 是為了鍍多層薄膜的高真空鍍膜機(jī), 主要用于 Mobile Phone Window Half Mirror coating, , AR&AF coating 以及 multi-layer optical coating。
產(chǎn)品詳情
1. 概要及構(gòu)成
HVCP-2050DA 是為了鍍多層薄膜的高真空鍍膜機(jī), 主要用于 Mobile Phone Window Half Mirror coating, , AR&AF coating 以及 multi-layer optical coating。
這機(jī)械的主要的構(gòu)成是如下.
1.1 真空室
1.2 低真空排氣系統(tǒng)
1.3 高真空排氣系統(tǒng)
1.4 蒸發(fā)源系統(tǒng)
1.5 離子源
1.6 多層薄膜控制用
1.7 真空控制計(jì) 及 Gas supply 系統(tǒng)
1.8 工件架加熱用加熱系統(tǒng)
1.9 工件架旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)
1.10 排氣自動(dòng)工程及監(jiān)督用
1.11 鍍膜工程自動(dòng)控制及數(shù)據(jù)記錄用的 HOPE 系統(tǒng)
1.12 空壓及冷卻水供應(yīng)系統(tǒng)
2. 主要性能
2.1 極限真空度: 8.0E-7Torr (無(wú)基片/無(wú)加熱) 12個(gè)小時(shí)以內(nèi)
2.2 工作真空度: 2.0E-5Torr
2.3 漏率(Leak Rate): 2.0E-7Torr.m3/sec. 以下
2.4 工件架最大加熱溫度 : 150°C
工件架溫度穩(wěn)定度: 150°C ± 10 (3個(gè)點(diǎn) - 上, 中, 下) 2.5 鍍膜光學(xué)特性
Uniformity: 550nm ± 2%
3. 機(jī)械構(gòu)成
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3.1 真空組件 |
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3.1.1 |
箱式前門(mén)開(kāi)型. |
1 |
SET |
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直徑 2,050mm x 高度 1,680mm |
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材質(zhì)-stainless steel SUS304 |
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3.1.2 |
窗口 - 直徑 150mm 強(qiáng)化玻璃 |
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電子槍控制用 (安裝黑色玻璃) |
1 |
EA |
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觀察基片旋轉(zhuǎn)及鍍膜狀況確認(rèn)用 |
2 |
EA |
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3.1.3 |
修正板 |
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|
固定修正板 |
4 |
EA |
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可變修正板 |
1 |
EA |
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3.1.4 |
真空室內(nèi)防污染板 |
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|
基本安裝用 |
1 |
SET |
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維持/保修用 |
1 |
SET |
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3.1.5 |
|
主要孔 |
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|
泄氣閥 |
1 |
EA |
|
|
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蒸發(fā)源(包括 RHS shutter port) |
3 |
EA |
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|
電子槍-包括 E/B spare port |
12 |
EA |
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|
|
離子源 |
4 |
EA |
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|
|
加熱電源 |
2 |
EA |
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|
|
高真空計(jì) |
1 |
EA |
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3.2 排氣組件 |
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3.2.1 |
高真空排氣系統(tǒng) (Hanil) |
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擴(kuò)散泵DPM-28A |
2 |
SET |
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|
油擋板和冷凝盤(pán) |
2 |
SET |
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三星冷凍機(jī) |
1 |
SET |
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3.3 鍍膜基片及工件架旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) |
|
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3.3.2 |
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工件架旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) |
1 |
SET |
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|
旋轉(zhuǎn)速度: 0~25 RPM (Max.) |
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|
按照工程旋轉(zhuǎn)速度可以設(shè)定/可變 |
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3.4 鍍膜基片加熱系統(tǒng) |
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|
3.4.1 |
加熱方式: Halogen Heater 24kW (Bottom Heating 4kW x 6ea) |
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3.4.2 最高溫度: 150oC |
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|
3.4.3 控制方式: PID (Proportion Integral Differential) / One point control |
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3.5 鍍膜蒸發(fā)源 |
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3.5.1 |
|
Electron Beam Source |
|
|
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|
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|
|
|
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1) |
|
Elecron Beam Power Supply 10kW |
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EB Source Power Supply / Arc suppressor |
1 |
SET |
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2) |
|
Electron Beam Source |
|
|
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|
Electron Beam Deflection 180° |
1 |
SET |
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|
3) |
|
Crucible Housing |
1 |
EA |
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|
|
Crucible volume 25cc X 12 pockets |
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|
Crucible material: copper |
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Crucible housing index 內(nèi)裝置冷卻水 |
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4) |
|
Electron Beam controller |
1 |
SET |
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|
X, Y scan 及 position 可以自動(dòng)/手動(dòng)控制 |
|
|
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|
Crucible housing 旋轉(zhuǎn)可以自動(dòng)/手動(dòng)控制及可以選定特定的甘堝 |
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|
為了自動(dòng)程序 Scan position, emission rate, scan shape 可設(shè)定 |
|
|
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|
包含Remote controller . |
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5) |
|
Shutter Unit |
1 |
EA |
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|
|
Shutter plate size: diameter 260mm |
|
|
|||
|
|
交換容易, mesh裝著. |
|
|
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|
3.5.2 |
|
Thermal Source |
1 |
SET |
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|
1) |
|
Electrode |
|
2 |
EA |
|
|
|
使用 Transformer |
|
|
|||
|
|
使用 500mm / with shutter |
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|
|||
|
3.6 Ion Beam Source System |
1 |
SET |
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|
|
最大出力: 4kW |
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|
|
Anode Voltage: 4kW |
|
|
|||
|
|
Anode Current: 0~15A |
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|
|||
|
|
Emisssion Current: 0~15A |
|
|
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|
|
Filament Current: 0~30A |
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|
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|
3.6.1 |
Ion Beam Gun |
1 |
EA |
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|
|
|
End-hall type, ?0.8mm filament |
|
|
|
|||
|
3.6.2 |
|
Ion Beam Controller |
1 |
EA |
|
|||
|
3.6.3 |
|
Gas Controller |
1 |
EA |
|
|||
|
|
|
O 及 Ar 供應(yīng)用 MFC (50sccm) 2ea |
|
|
|
|||
|
3.6.4 |
2 |
|
|
|
1 |
EA |
|
|
|
|
Ion Beam Power Supply - 1ph, 220V, 4kW |
|
||||||
|
3.7 鍍膜薄膜控制計(jì) |
|
|
|
|||||
|
3.7.1 |
|
Quartz Crystal Deposition Control - XTC/5S (Inficon) |
1 |
SET |
|
|||
|
3.7.2 |
|
Quartz Crystal Sensor |
1 |
SET |
|
|||
|
|
|
Single Sensor Head (water cooling jacket included) |
|
|
|
|||
|
3.8 真空測(cè)量系統(tǒng)及氣體供應(yīng)系統(tǒng) |
|
|
|
|||||
|
|
|
Vacuum Measurement System (Leybold) |
|
1 |
SET |
|
||
|
|
|
Reading & Setpoint can be adjusted on PC |
|
|
|
|
||
|
3.8.1 |
高真空測(cè)量 gauge - Penning (PTR90) - 鍍膜工程進(jìn)行用 |
1 |
EA |
|
||||
|
|
|
(在工見(jiàn)架位置) |
|
|
|
|||
|
|
|
Max. measurement range: 750 Torr |
|
|
|
|||
|
|
|
Min. measurement range: 3.75 x 10-9 Torr |
|
|
|
|||
|
3.8.2 |
低真空測(cè)量 gauge - Pirani (PSG500) |
|
|
|
||||
|
|
|
Max. measurement range: 750 Torr |
|
|
|
|||
|
|
|
Min. measurement range: 3.75 x 10-4 Torr |
|
|
|
|||
|
|
||||||||
|
3.9 Control Console |
|
|
||||||
|
3.9.1 |
|
Console Frame (19" rack type) |
|
|
|
|||
|
3.9.2 |
|
Touch screen & PLC control (Auto / Manual control) |
|
|
|
|||
|
|
|
-自動(dòng)真空排氣 |
|
|
|
|||
|
|
|
-工程進(jìn)行Monitor |
|
|
|
|||
|
|
||||||||
|
|
|
|
||||||
|
3.10 自動(dòng)工程系統(tǒng) |
|
|
|
|||||
|
3.10.1 |
|
Computer Set |
1 |
SET |
|
|||
|
|
|
Core i3-4150 3.50GHz, HDD 500G, 17" TFT-LCD Monitor |
|
|
|
|||
|
3.10.2 |
|
Communication Module |
1 |
SET |
|
|||
|
|
|
RS232 Expansion Card & Optical Fiber |
|
|
|
|||
|
3.10.3 |
|
HOPE Software |
1 |
SET |
|
|||
預(yù)溶解, 鍍膜蒸著工程自動(dòng)化及自動(dòng)記錄數(shù)據(jù)
|
1 |
EA |
3.12 機(jī)械顏色
Ivory
5. Utilities (使用廠家準(zhǔn)備事項(xiàng))
5.1 電源
5.2 氣壓
5.3 冷卻水
：380V, 3ph, 50Hz, 110kW (50mm2 X 4P)
E/Beam power supply 用電子式 AVR (220V, 3ph, 20kVA) ：6.0kg.f/cm2 以上, 100LPM, mist separator (SMC 2μ/m) 安裝：溫度. 18~25oC, Water Tank 400?, 不凍液 3 gallons 添加
水歧管入口部 的水壓得 3kg.f/cm2 以上
室外機(jī)一定在外部安裝
上一個(gè)：沒(méi)資料
下一個(gè)：單體連續(xù)磁控濺射鍍膜設(shè)備
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